涡流涂镀层测厚仪工作原理

涡流涂镀层测厚仪工作原理

        1、基本原理
        涡流镀层测厚仪的基本工作原理是当探头与待测样品接触时，探头装置产生的高频电磁场使置于探头下方的金属导体产生涡流。它的幅度和相位是导体和探头之间的非导电涂层厚度的函数。即涡流产生的交变电磁场会改变探头参数，而探头参数变量的大小，再对这个电信号进行转换处理，就可以得到被测涂层的厚度。
         2、影响测量精度的原因
        (1)当覆盖层厚度大于25μm时，误差与覆盖层厚度近似成正比；
         (2)母材的电导率对测量有影响，这与母材的材料成分和热处理方法有关；
         (3)任何一种测厚仪都要求母材有一个临界厚度，只有大于这个厚度，测量才不会受到母材厚度的影响；
         (4)涡流测厚仪器对图案测量有边缘效应，即靠近图案边缘或内角的测量不可靠。
         (5) 样品的曲率对测量有影响，这种影响会随着曲率半径的减小而显着增加；
         (6)母材和覆盖层的表面粗糙度影响测量精度，粗糙度增大，影响增大；
         (7)涡流测厚仪对阻止探头与被覆层表面紧密接触的粘附物质敏感。因此，测量前应清除探头表面和覆盖层的污垢；探头与测试表面保持恒定压力垂直接触。