国内压力传感器技能介绍

点击次数：909 更新时间：2015-08-13

国内压力传感器技能介绍

上海五久自动化

　　压力传感器是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器通常由弹性灵敏元件和位移灵敏元件（或应变计）组成。弹性灵敏元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变，然后由位移灵敏元件或应变计转换为与压力成必定关系的电信号。有时把这两种元件的功用集于一体。压力传感器广泛使用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、出产自控、、石化、油井、电力、船只、机床、管道等很多职业。
    力学传感器的种类繁复，但常用的压力传感器有电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。使用的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。
    中国压力传感器商场主要是工业自动化操控范畴，和汽车范畴。在工控范畴里目前中国绝大部份选用分散硅压力传感器、应变片式压力传感器和溅射薄膜压力传感器，而国内厂家出产面广量大的即是分散硅压力传感器。在国内，西安市是中国笫二个五年计划里要点开展压力系列传感器的主要城市，陕西宝鸡市在省会城市西安的股动下，由原秦岭晶体管厂进行技能改造，和美国霍尼伟尔公司合作成立麦克传感器公司，为中国分散硅压力传感器出产创始了先河。但MEMS技能和前道硅片制作技能仍操控在外国厂家手里。
    国内从事硅电容压力传感器的研讨可以说是刚刚起步。虽然国内已经有单位研发出了硅电容传感器，它的精度和静压特性已挨近富士公司商品的平均水平，但在长时间稳定性方面，距离较大。一起，国内的电容传感器在高差压和微差压标准的开发上仍有较大距离。国外压阻式传感器精度可以达到0.075%，而国内研发的压阻式传感器的精度只要0.1%。在长时间稳定功能上，国产传感器和进口传感器的距离更为显着。国产商品长时间稳定性的指标为0.1%/年，比国外商品zui少高2倍。别的，国产商品的温度特性差。与国外商品比较，温度漂移比国外商品的典型值大50%～100%。此外，国产商品的标准种类不够全，在微差压和高差压、高静压标准方面没有成熟的商品，不能满意某些技术的特殊要求。
    压力传感器的国产化疑问的要害主要是怎么进步传感器的长时间稳定性。传感器的长时间稳定性和传感器的资料选择、结构设计、加工技术密切有关。中国在MEMS加工技术上还处于相对落后期间，进步技术水平无疑是进步传感器功能的久远之计。
    目前，国内有关高校和科研院所对压阻式和电容式MEMS传感器进行了很多的研讨，在理论和技术水平上都取得了一些效果。就当前技术水平而言，假如可以实现某种方式的抵偿或许在线的自标定方法，则有可能在短期内进步传感器的长时间稳定性，使国产传感器在稳定性指标上满意石化职业需要。

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