电子显微镜金相显微镜的不同之处

电子显微镜金相显微镜的不同之处

        扫描电子显微镜（SEM），简称SEM，是一个复杂的系统；它集中了电子光学技术、真空技术、精细的机械结构和现代计算机控制技术。扫描电镜是在加速高压的作用下，通过多级电磁透镜将电子枪发射的电子收集成微小的电子束。扫描样品表面激发各种信息，通过接收、放大和显示信息，可以分析样品表面。入射电子与样品的相互作用产生了如图 1 所示的各种信息。这些信息的二维强度分布随样品表面的特性而变化（这些特性是表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性）等），也就是将各种探测器采集的信息按顺序和比例转换成视频信号，然后送到同步扫描的显像管，对其亮度进行调制，得到反映样品表面状况的扫描图像。如果探测器接收到的信号经过数字化处理，转换成数字信号，就可以被计算机进一步处理和存储。扫描电镜主要用于观察高差大、粗糙度大的厚样品，因此设计突出景深效应，一般用于分析裂缝和自然表面，无需人工处理。
        
        电子显微镜和金相显微镜
        
        1、光源不同：金相显微镜以可见光为光源，扫描电子显微镜以电子束为光源进行成像。
        
        2、原理不同：金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像，而扫描电镜利用高能电子束轰击试样表面，激发试样表面各种物理信号，然后使用不同的信号检测器来接收物理信号。该信号被转换为图像信息。
        
         3、分辨率不同：由于光的干涉和衍射，金相显微镜的分辨率只能限制在0.2-0.5um。因为扫描电镜以电子束为光源，其分辨率可以达到1-3nm之间，所以金相显微镜的组织观察属于微观层面的分析，而扫描电镜的组织观察属于到纳米级分析。
        
        4、景深不同：一般金相显微镜的景深在2-3um之间，因此对试样的表面光洁度要求*，因此制样过程相对复杂。扫描电镜具有大景深、大视场、三维图像，可直接观察各种样品凹凸不平表面的精细结构。